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TFT-LCD制造工艺流程

                                                                                                                                                                                                            文/三元晶

薄膜晶体管液晶显示器(TFT-LCD)通常采用两个加工过程并行进行加工成成品,如图1所示。其基本工艺如下:

                        图1. TFT-LCD 工艺流程图


● 通过前玻璃基板/彩色滤光基板工艺过程形成精确排列的彩色滤光层。
● 薄膜基板工艺形成薄膜晶体管液晶(TFT)阵列及显示器像素控制所用其它电子元件。每个像素一般对应三个薄膜晶体管液晶(TFT),每个像素控制一个共同构成一个像素的“色点”。薄膜形成工艺采用与半导体制造技术相类似的CVD、Etch及PVD等工艺技术。此类工艺步骤应反复数次,连续膜层方可形成一个功能元件(图2)。

              图2. TFT-LCD的典型阵列工艺步骤


● 两块基板合二为一,中间注入液晶材料。
● 最后组装背光及驱动电子元件,制造出TFT-LCD 模块。




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